新三板创新层公司元泰智能新增专利信息授权:“一种模块化高效晶圆取料装置”
2024年08月14日 | 小微 | 浏览量:66853
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每经讯,据启信宝,新三板创新层公司元泰智能(839156)新增专利信息,专利权人为元泰智能,发明人是贺竞人、朱俊杰、杜王杰。专利授权日为2024年8月13日,专利名称为“一种模块化高效晶圆取料装置”,专利类型为中国实用新型专利,专利申请号为CN202323565059.9。
该专利摘要显示:本实用新型公开了一种模块化高效晶圆取料装置,其包括壳体以及设置在所述壳体上的至少一个取料单元,每个所述取料单元包括驱动模组以及受所述驱动模组驱动进行独立运动的第一取料叉与第二取料叉,所述第一取料叉与所述第二取料叉呈高度错位分布且在所述壳体的上方空间内进行水平伸缩运动。本实用新型能够从叠层晶圆料盒中实现多片晶圆的高效取放,提高产能,模块化设计应用灵活,空间占用小。
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(记者 曾健辉)
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